松下晶圆定位传感器订货方式M-DW1

规格

种类    LED式反射型

型号       M-DW1

中心测量距离 45mm

检测物体              3英寸以上的半导体晶圆(注2)

可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

检测角度             12.5±5°(注4)

晶圆间距            间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

电源电压         12?24V DC±10%　脉动P-P10%以下

消耗电流         65mA以下

输出 NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择  <NPN输出>

               NPN开路集电极晶体管

              ?较大流入电流：100mA 

               ?外加电压：30V DC以下(输出和0V之间)

              ?剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时)

　　　　　　　 0.4V以下(流入电流为16mA时)

                <PNP输出>

                PNP开路集电极晶体管

              ?较大源电流：100mA

                ?外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)

               ?剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)

　　　　　　　         0.4V以下(源电流为16mA时)

输出动作     可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON

短路保护        装备(自动复位)

反应时间             500μs以下

工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)

稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)

定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式

投光停止输入 信号条件

               ?投光停止：断开或4?8V

               ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

灵敏度切换输入 信号条件

               ?输入OFF：断开或4?8V

                ?输入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

灵敏度设定 背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行

                 检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

松下晶圆定位传感器订货方式M-DW1