量程选择自封式快换接头SMC，CP96SDB63-250C

放出气体量少。重金属污染少。

无气体积留的遗体铸造结构。

铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。

使用压力：1×10-6Pa(abs)

泄漏量：内部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。

有2种接头和内螺纹可选。洗净后可重复使用。采用铝制主体。

受热升温均匀。重量轻、外形紧凑。放出气体少。

重金属污染少。可更换波纹管。耐氟。

维护性提高波纹管更换更容易

可通过顶部拆装们（订制规格）

用于半导体等需要高洁净度气体的行业。

消耗功率：多削减25％。

质量：多减小18％　0.5kg→0.41kg。

阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。

密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。

初始供气、主给気可同时进行流量调节。

在半导体装置等中、适合用作负载锁定室

和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。

长寿命：300万次（常温时）

发尘量：减少至1/5以下（与以前型号相比）

机械强度大、耐压能力强、耐腐蚀性强。

可机械加工、铆接、钎接、焊接及同时烧结。

可作为气体的切断阀使用。

接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，

因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。

用于洗净及洁净室组装。

全部产品均经过了氦气泄漏检测。

符合SEMI规格采用方便作业的锻造主体。

操做通口为M5螺纹（AK3542, 4542）。

手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化（AK3652, 4652）。

采用有凹凸的圆形手轮，更便于操作和确认（AK3652, 4652）。

从半导体到一般行业均可使用的标准型。

产品体型小、重量轻。安全对策采用机械式端锁机构

适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。

主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。

接触气体部分经过电解研磨处理。

外部金属密封构造。

从半导体到一般行业都可使用的标准型。

主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。

质量：0.52kg、高：97.5mm。

内部容积小，其体积存量少。

配管扩展品［单向阀］防止背压使流体逆流。

构造简单，内部的可动零部件仅为O形圈。

采用无弹簧的构造，可减少因震颤等产生的颗粒，降下游的压力变动。

［真空发生器］真空发生器。

用于更换气罐时，排出配管中残余的气体。［流量开关］

检测配管破裂等造成的过剩流量。

全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。

从半导体到一般行业都可使用的标准型。可用于洗净。

降执行器的高度，实现产品的小型、轻量化（AK3542, 4542）。

可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。

量程选择自封式快换接头SMC，CP96SDB63-250C