VXZ2360-10-6G1先导式2通电磁阀SMC

描述 XLH 系列 铝制 高真空L型阀 手动/波纹管密封

抗氟强

气体泄出少

重金属污染小

使用流体 惰性气体

低使用圧力 [MPa] 1X10^-6 Pa

高使用圧力 [MPa] 大气压

声速流导C 45 L/s

内部泄漏量 1.3X10^-10 Pa·m^3/s

外部泄漏量 1.3X10^-11 Pa·m^3/s

本体材质 铝合金

波纹管材质 SUS316L

主要部分材质 不锈钢 / FKM

法兰尺寸 40 40

有无加热器 - -

阀体表面处理 - 外部:硬质阳极氧化,内部:无处理

密封材质 - 密封材质:FKM;组合NO.:1349-80

密封材质变更点及泄露量 - 变更点:无;泄漏量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa·m3/s以下,外部:1.3x10^-11(FKM)Pa·m3/s以下