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可以同时满足高压、真空、高温的综合性能
是密封性好，，死区小
其死区体积不到相同口径波纹管阀的一半
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手 机；189 17O7 4297
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允许负载惯性力矩kg?m2 0.60 0.90
分度精度（注2） 秒±30
易于排除痕量残留气体；阀头与阀座间无相对摩擦，不会有金属粒子落入介质中。
供高纯气体系统用较大输出转矩N?m 22 45
在连续旋转时，请以不过80rpm的速度使用。
分度精度、重复精度、输出轴振动
输出轴端面振动的解说请参照10页“用语解说”。
允许轴负载N 400允许力矩负载N?m 20
膜片式截止阀工作压力可达21MPa可
适用温度-54～316℃漏气速率1.33×10-7Pa·L/s
连续输出转矩N?m 7 15快旋转速度rpm 240（注1）
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